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: 实验室电热板消解测定电子级多晶硅详解

本文参照标准《GB／T37049-2018电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法》使用实验电热板HT-300消解、ICP-MS测定电子级多晶硅中铁、铬、镍、铜、锌、钠的含量。

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